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激光誘導擊穿光譜技術通過超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，進而對等離子體發射光譜進行分析以確定樣品的物質成分及含量。超短脈沖激光聚焦后能量密度較高，可以將任何物態（固態、液態、氣態）的樣品激發形成等離子體，LIBS技術（原則上）可以分析任何物態的樣品，僅受到激光的功率以及攝譜儀&檢測器的靈敏度和波長范圍的限制。再者，幾乎所有的元素被激發形成等離子體后都會發出特征譜線，因此，LIBS可以分析大多數的元素。如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于評估每個構成元素的相對豐度，或監測雜質的存在。

在實踐中，檢測極限是：

a）等離子體激發溫度的函數，

b）光收集窗口，以及

c）所觀查的過渡譜線的強度。

LIBS利用光學發射光譜，并且是該程度非常類似于電弧/火花發射光譜。

激光誘導擊穿光譜儀是光譜分析領域一種嶄新的分析手段，其基本原理是使用高能量激光光源，在分析材料表面形成高強度激光光斑(等離子體)，使樣品激發發光,這些光隨后通過光譜系統和檢測系統進行分析。這種技術對材料中的絕大部分無機元素非常敏感.。同時能分析低原子數元素例如：氫-鈉的元素，這些元素用其他技術很難分析。